SF6气体渗漏的主要原因是：安装工艺水平差，零部件密封表面粗糙工艺粗糙、材料选用不当锈蚀、密封圈老化。
SF6气体泄漏主要发生在以下部位：
1、 法兰盘间的密封渗漏六氟化硫
2、 压力表接头及密度继电器接头渗漏六氟化硫
3、 瓷套与法兰盘浇注处SF6泄漏
4、 密度继电器接线柱SF6渗漏
5、 阀门内部波纹管SF6漏气
6、 本体下部传动拉杆密封处六氟化硫渗漏
7、 GIS外壳渗漏六氟化硫
8、 GIS操作机构与本体间的传动拉杆动密封处泄漏SF6
9、 GIS设备的CT二次引出线接线柱六氟化硫泄漏
10、 其他泄漏
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